仪器名称：薄膜表面形貌测试系统

型号：5600LS

负责人：王芳

设备简介：薄膜表面形貌测试系统由美国Agilent公司制造，通过AFM或STM扫描仪对小样品区域进行原子分辨率成像，用于表征样品表面的形貌分析，粗糙度或三维形貌；可以和其他模块联用，用于PFM测量，CAFM测量等。