设备名称：电子束蒸发系统

设备型号：国Korvus technology Base300

设备负责人：胡凯

设备简介：Base300电子束蒸发系统由英国Korvus technology公司制造，是一台高性能高效率稳定的电子束蒸发镀膜设备，可用于电极薄膜材料生长，尤其是超薄电极材料的生长，如Al、Au、Ti、Pt、Cu等，适用于相关的科研。该系统模块式组合设计，也可用于教学中电子束蒸发工艺、原理的理论和实验教学。