设备名称：纳米探针系统

设备型号：Raith10170

负责人：王芳

设备简介：纳米探针系统由德国Raith公司制造，主要用于纳米尺度的操作和电学测量，必须和实验室原有电子束曝光设备配合使用。XYZ三轴运动，行程范围为20mm×20mm×10mm，可通过Raith软件来进行控制，即数字化运动，位置存储调用，排序，归位和初始化。