设备名称：电子束蒸发镀膜设备

型号：EB-500-I

负责人：张楷亮

设备简介：EB-500-I电子束蒸发镀膜设备由沈阳科学仪器股份有限公司制造，利用电磁场可以精准地实现高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上，不同于传统蒸镀方式。电子束蒸镀可以镀出高纯度、高精度的电极薄膜，用于半导体器件的电极材料生长。