设备1：电子束蒸发系统
设备2：原子层沉积系统
设备3：Agilent Technologies高速采样示波器
设备4：Tektronix任意信号发生器
设备5：超高真空多功能磁控溅射设备
设备6：薄膜表面形貌测试系统
设备7：电子束蒸发镀膜设备
设备8：多功能磁控与离子束联合沉积系统
设备9：电子束曝光系统
设备10：扫描微波显微镜系统
设备11：全数字高精度电化学工作站
设备12：铁电测试系统
设备13：显微拉曼-荧光光谱-原子力探测集成系统
设备14：纳米探针系统
设备15：半导体参数分析仪
设备16：多功能等离子增强化学气相沉积系统
设备17：多功能微波等离子化学气相沉积系统
设备18：直流等离子体喷射化学气相沉积金刚石膜设备
设备19：热丝CVD和掺杂金刚石沉积系统
地址：天津理工大学集成电路科学与工程学院 地址：天津市西青区宾水西道391号 