设备名称：扫描微波显微镜系统

设备型号：N9416S

负责人：王芳

设备简介：扫描微波显微镜系统是美国是德科技有限公司制造，必须与原子力系统、网络分析仪联用，适用于半导体、绝缘体、掩埋式结构、晶体管等样品的观察和测量。用于微分电容表征，尤其是介电材料表面微分电容变化情况，用于表征材料介电特性分析研究。